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TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展
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《中国表面工程》2014年 第6期27卷 141-141页
作者:shang h f Li J Shao T M清华大学摩擦学国家重点实验室 
TiAlN薄膜具有硬度高、附着力强及热稳定性好等优良特性,被广泛用于涂层刀具中。钽(Ta)是一种硬度高、韧性好、熔点高的过渡金属元素,经常用于提高合金的抗高温氧化性能。将Ta与TiAlN制成多层膜,有可能获得更好的力学性能及热稳定性...
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