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一种Sawyer马达驱动二维运动平台测量和控制系统设计(英文): 收藏
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引用; 《纳米技术与精密工程》2006年第3期4卷 182-189页; 作者：tano m 高伟 DIAN S Y KIYONO S TOmITA Y mAKINO K mOTITA H日本东北大学日本住友重工株式会社; 介绍一种使用Sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统．该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器．台板由防腐钢板制成,在其表面加工了齿牙．线性脉冲马达推动器靠空气支承悬浮在台板上,用以驱动平台．每一驱动器均由...; 介绍一种使用Sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统．该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器．台板由防腐钢板制成,在其表面加工了齿牙．线性脉冲马达推动器靠空气支承悬浮在台板上,用以驱动平台．每一驱动器均由一个永久磁铁和两个驱动线圈组成,用以产生X向和Y向的平台驱动力．设计了一种表面编码器用以测量和控制平台的运动．一个正弦格栅装在台板上,一个传感组件装在平台驱动器上．在该传感组件中有三个光学传感器,用以测量三个分离点上的X和Y方向的位置,平台的θ_z向位置可以从传感器输出求得．开发了一种反馈控制系统用以控制平台运动．测量和反馈控制实验证明了该精密系统的可行性．; 来源：详细信息评论

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