摘要：本文介绍了一种MEMS角速率传感器的设计、制作和测试.该传感器采用硅梁作为支撑和震动的结构.电磁力在驱动模式中被用来激励质量块做往复运动.驱动模式的频率被设计为5 955.38 Hz.针对另外两个轴向的角速率检测,设计检测模式的频率分别为6 151.01 Hz和6 591 Hz.质量块在驱动模式下的最大位移被设计为20μm.在器件的制作过程中使用了湿法刻蚀、电子束蒸发、阳极键合、等离子体增强化学气相沉淀(PECVD)、lift-off、感应耦合等离子体活性离子蚀刻(ICP-RIE)等MEMS工艺.质量块的尺寸是1 440μm×1 400μm×33.6μm,硅梁的设计尺寸分别为10μm×562.5μm×33.6μm,10μm×532.5μm×33.6μm,芯片的外形尺寸是3 127μm×3 069μm.为了进行器件测试,搭建了真空测试平台.测试结果表明,驱动模式下器件的谐响应频率为9 609 Hz,使用磁电检测的模式其谐响应频率为9 605 Hz.器件中电容检测需要特殊的电路,该电路目前正在搭建中.分析发现实测结果与模拟仿真结果的差异在于加工过程中产生的误差.

摘要：介绍了地铁站内烟气流动和控制的试验和数值研究。在三个真正地铁站内利用甲醇油池火作为燃料进行了试验,用所获得数据来验证地铁站火灾数值模型,并进一步检验其烟控系统的性能。在站内使用了制量烟气流动模型,再现了最简单条件下每个站点的试验结果,然后把结果跟其他试验条件下的试验结果进行了比较。最后,用模型预测更复杂火灾的烟气流动情况。另外,还讨论了地铁系统的有效设计和火灾安全设施的正常运作情况。通过限制内饰面材料的燃烧性能或者安装自动喷淋系统都可以有效控制热释放速率,且在站点两端开设逃生路线、站台和地铁隧道直接卷帘的正常启动等可有效保证安全疏散。