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微纳技术应用中的快速频率响应测量方法
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《常熟理工学院学报》2013年 第4期27卷 39-45页
作者:tomi roinila 刘凯 席文明 雷李辉 俞骁 张惠国 Matti Vilkko坦佩雷理工大学自动化科学技术系芬兰坦佩雷33101 厦门大学机电系福建厦门361005 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 常熟理工学院物理与电子工程学院江苏常熟215500 
频率响应测试技术作为一种有效的系统辨识技术,可用于开发新型全自动系统,如微注射等.由于缺乏快速、高效的测量方法,频率响应测试技术仍未得到广泛应用.典型的频率响应测试是采用传统的正弦扫描法,一次测量往往需要几分钟.本文提出一...
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