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检索条件"基金资助=上海市光科技启动计划资助项目"

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新型微机电系统光开关研制: 收藏
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引用; 《上海交通大学学报》2003年第9期37卷 1468-1471页; 作者：贾书海赵小林杨春生张琛蔡炳初冯建智上海交通大学微纳米技术研究院上海200030; 介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基础上,研制了1×2、2×2、1×4和1×8四种典型的MEMS光开关,达到了较好的性能.这些光开关...; 介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基础上,研制了1×2、2×2、1×4和1×8四种典型的MEMS光开关,达到了较好的性能.这些光开关可广泛应用于光纤通信系统.; 来源：详细信息评论

新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制: 收藏
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引用; 《中国机械工程》2003年第12期14卷 1004-1006页; 作者：贾书海李以贵杨春生赵小林丁桂甫张琛蔡炳初上海交通大学微纳米科学与技术研究院上海市200030; 设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采...; 设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采用了自制的磁极写入装置。这种微驱动器具有良好的实用性,目前已成功应用于光纤通讯开关中。; 来源：详细信息评论

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