摘要：为了研究拉伸和大形变弯曲共存状态下硅纳米悬臂梁传感结构的压阻特性,采用CMOS工艺制作了硅纳米悬臂梁传感测试结构,结合原子力显微镜和半导体参数测试仪对其电学参数进行了测量,其位移灵敏度高达1.58216×10-4/nm。在电阻相对变化率实验测量和ANSYS有限元平均应力仿真的基础之上,进而提出了一个非线性压阻模型来提取大弯曲硅纳米悬臂梁的一阶和二阶压阻系数。研究结果表明:其一阶压阻系数约为体硅的5倍,该巨压阻效应为利用硅纳米压阻传感结构来实现超高灵敏度的纳米压力传感器提供了可能的途径。研究结果同时也揭示了要获得高的灵敏度和好的可靠性,硅纳米悬臂梁的长度设计需要折衷考虑。

摘要：RF mems开关具有低损耗、低功耗、尺寸小和易于集成等优点而被广泛应用于各种可重构射频电路及系统中。通过分析比较电容并联式和串联式RF mems开关两种电路结构的射频性能,设计了一种基于RF mems开关的新型功率放大器,使用RF mems开关控制匹配网络来实现双工作频带的转换。结果表明,设计的功率放大器在2.35GHz和1.25GHz两个工作频带下,功率附加效率(PAE)和输出功率(Pout)可分别达到72%、67%及40.8、42.7dBm。该功率放大器具有较高的功率附加效率和输出功率,适用于多频带的射频系统,对RF mems器件在可重构系统中的应用具有一定参考价值。

摘要：为实现热电式mems微波功率传感器与电容式mems微波功率传感器的兼容,得到一种性能优良的双通道mems微波功率传感器,需要对mems悬臂梁的匹配特性进行分析与设计。根据mems悬臂梁的一维集中参数模型,分析了mems悬臂梁的吸合电压,研究了mems悬臂梁的位移与电容的变化关系以及mems悬臂梁的谐振频率,得到了mems悬臂梁的匹配特性与mems悬臂梁高度的变化关系。实验结果表明,当mems悬臂梁的高度设计为10μm时,mems悬臂梁的谐振频率为16.13kHz,在8-12GHz频率范围内,回波损耗均小于-19dB。

摘要：(FMCW)调频连续波雷达在汽车防撞系统中得到了广泛的应用。文中对近年来国内外汽车防撞系统的发展做了阐述和比较,以FMCW毫米波雷达作为系统前端,对防撞系统的原理、结构、信号的前置放大和模数转换等关键数据采集模块进行了介绍与设计。

摘要：建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式。在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性。所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据。