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检索条件"基金资助=中国人民解放军总装备部武器装备预研基金项目资助"
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平面S型与平面W型MEMS弹簧性能比较研究
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《传感技术学报》2008年 第2期21卷 288-291页
作者：何光 石庚辰北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室北京100081 
S型与W型是平面MEMS弹簧中两种典型的结构形式,各自结构特点导致了它们具有不同的力学性能。通过理论分析、仿真计算和实验验证方法对平面镍质S型与平面W型MEMS弹簧性能进行了比较研究,得出了在同样的外廓尺寸及相同的线宽、厚度和梁间...
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