摘要：射频超导腔的无载品质因数Q 0和加速梯度E a是评价腔性能的重要指标;为了得到铌溅射超导腔的性能参数,研制了一套射频超导腔性能测量平台,实现Q 0和E a的测量;测量平台由单腔低温柜和超导腔性能测量设备:信号源、功率计和数据采集卡组成;PLC控制真空计、压力传感器、温度传感器和步进电机等设备监测、控制单腔低温柜内的4.2 K低温环境和超导腔的调谐与功率耦合;超导腔性能测试程序基于图形化编程语言LabVIEW开发,由计算机远程操作测试过程;通过接受信号源和功率计的USB通讯接口传送的数据以及采集PCI总线上数据采集卡的信号,经过数据处理后实时显示测量值和Q 0和E a的测试结果,并存入数据库随时调用;测量结果表明,测量平台实现了对铌溅射射频超导腔的性能评价,性能参数达到了设计要求。