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0.3 ng/Hz1/2超高灵敏度MEMS加速度计研究进展
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《中国惯性技术学报》2020年 第1期28卷 100-105页
作者:王秋 刘骅锋 许强伟 宋萧萧 严世涛 涂良成华中科技大学物理学院引力中心重力导航教育部重点实验室武汉430074 
采用微纳加工工艺制备了硅基微机电(MEMS)超高灵敏度加速度计,并针对超高灵敏度MEMS加速度计进行了结构设计及仿真。通过独特自主的体硅一体化刻穿工艺加工出MEMS加速度计敏感结构,测得MEMS加速度计噪声谱密度在1 Hz处为0.3 ng/Hz1/2,4...
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