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检索条件"基金资助=四川省高等教育人才培养质量和教学改革项目"面向卓越工程师计划的微电子工艺实验实践教学改革的研究""
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微电子教学实验室建设的探索与实践
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实验技术与管理》2015年 第6期32卷 239-242页
作者:李建军 王姝娅 张国俊 李平 杜涛 谢小东电子科技大学微电子与固体电子学院四川成都610054 
为适应微电子产业的高速发展,高校的微电子实验室建设及实验教学对专业人才培养发挥着极其重要的作用。微电子实验室建设主要包括微电子设计实验室和微电子工艺实验室。实验教学开设了集成电路设计综合实验微电子工艺综合实验。学...
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