摘要：提出了用虚拟现实技术实现ＭＥＭＳ的快速原形设计的思想，并具体给出了虚拟环境中的实现步骤。核心是在虚拟环境中实现ＭＥＭＳ器件的部件设计，拟实组装，拟实运行。进一步，构建了虚拟现实实验平台；并在此平台上实现了微马达和微泵的拟实运行及一个拟实组装的例子。

摘要：本文设计和研制了一种新结构薄型压电行波小马达。小马达由圆形压电薄片或圆环形压电薄片和兼作公共电极的金属弹性体联成一体作马达的定子，薄型转子坐落在公共电极金属弹性体上，从而使压电马达的构造简单，也简化了制作工艺。研制成的薄型压电行波小马达直径φ８ｍｍ，定子总厚度≤３５０μｍ，在１０－１２伏交变电讯号激励下，转子转速≥１００ｒｐｍ。

摘要：文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构,由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下,质量块呈平行于衬底水平移动,引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分电容变化。通过测量差分电容的变化,可以得到加速度信号的大小。理论分析表明加速度响应信号随面积呈线性变化,而与质量块及定电极的间距无关。加速度传感器的制作采用了基于金属电镀的准LIGA技术,设计量程为20m/s2。测量结果表明,加速度传感器量程为20m/s2,灵敏度为581mV/(m·s-2),非线性为4%FS。讨论了器件线性度不够理想的原因。