摘要：450mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计。为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一种新型的基于采样密度和非线性度的序贯设计方法。此方法通过蒙特卡洛方法,在设计空间中获得采样密度信息,进而对低采样密度区域增加采样点。另外,通过对每个采样的领域进行发掘,以获得采样的梯度和非线性度信息,进而对高度非线性的区域增加采样点。以450mm刻蚀机约束环设计模型和Goldstein-Price模型为背景,采用拉丁超立方和新型序贯设计方法同时采样,以代理模型精度和特征捕捉能力两个角度来对比采样结果的优劣,结果证明,在达到同样精度的前提下,新型序贯设计方法能有效减小采样规模,符合刻蚀装备设计的需要。

摘要：对陶瓷球床组件的堆内辐照情况进行物理计算分析有助于改进辐照装置的设计,完善辐照方案。按照堆内辐照陶瓷球床组件的实验技术要求,采用MCNP程序对陶瓷球床组件在不同孔道内的辐照情况进行了产氚量、产氚速率、发热量等计算。计算结果表明:采用天然丰度6 Li的陶瓷球床组件在考验孔道内以半功率辐照能满足实验技术要求;如要采用满功率辐照,则需将组件中心位置提升至活性区中平面以上23cm处。

摘要：从反应离子刻蚀设备腔室内部结构细节角度出发,研究腔室约束环对以450 mm为代表大晶圆尺寸刻蚀机流场影响。与同类研究相比,本文旨在突出研讨仿真模型的精确性与边界条件比较设置准则的重要性。本文首先介绍刻蚀机腔室约束环的结构及其功能并提出高精度粘度修正的实现方法并计算腔室流体气压分布。提出了腔室气压分布的多目标问题,采用遗传算法求解,并通过多目标决策对优化结果进行评价和排序,得到最适合的优化结果。最后,给出约束环设计结果并得出约束环可以优化腔室内气流分布轮廓的结论。

摘要：针对传统基于连续流假设的N-S方程无法准确描述约束环内稀薄气体问题，采取二次优化策略，确定了CFD-ACE＋中基于努森数的粘度修正公式参数a、b的最优值分别为0．12和1．40。对约束环内气体流动进行模拟仿真，结果表明：利用本文中的粘度修正公式，可以使约束环内稀薄气体的模拟仿真结果与实验测量值相一致，该公式在较宽的入口流量范围（200—2000mL／min之间）内应用均可控制仿真结果的相对偏差在±3％之内，其精度满足实际工程需要；并且，获得粘度修正公式参数的方法同样适用其它微通道内稀薄气体的研究，对相同工况下类似刻蚀腔室内气流仿真、新机型设计等亦有很大的指导意义。

摘要：为提高获取机械设计相关知识的效率并保证知识的有效性,提出了一种基于机械设计意图建模的知识主动推送服务方法。为设计任务建立了形式化的包含目标功能、约束条件和用户兴趣领域的设计意图模型,并根据机械概念设计阶段的各类相关知识的特点对其进行了规范化的组织管理,基于设计意图模型和设计知识库给出了系统的知识推送机制和通过功能—行为—结构映射进行知识匹配求解的方法。开发了机械概念设计知识服务系统的原型系统,并以液压式活塞泵为例验证了系统的有效性。

摘要：针对集成电路装备研发中的数据集成、应用集成与知识集成问题,设计了集成电路装备集成化研发平台。该平台遵循一切皆为服务的设计原则,使用服务构建应用系统,对产品数据的访问也被封装为统一的数据访问服务供外界调用。给出了集成电路装备集成化产品组件数据视图,并融合数据空间技术完成了异构数据的形式化数据资源建模。给出了基于本体的知识项统一描述方式,在此基础上实现了基于知识推送的知识应用模式。介绍了自主开发的集成电路装备集成化研发平台,并结合PECVD设备中喷淋头的设计,验证了平台的有效性。

摘要：针对目前仿真数据管理技术缺少文件语义访问接口支持的问题,提出基于语义的仿真文件跨平台访问方法,并开发了一个面向刻蚀机研发中仿真数据管理的语义文件系统。在工程需求分析的基础上,为实现仿真项目语义的结构化表达,开发了面向产品仿真领域的本体库。给出了基于语义的仿真项目访问形式化模型,并设计了基础的语义倒排索引结构及计算加速方法。介绍了所开发的原型系统,该系统能够屏蔽仿真文件的具体物理位置,使工程师实现基于语义而非物理位置的仿真文件访问、查询和共享。

摘要：　结合云南呈贡县新村农田排灌水人工湿地处理工程,详细介绍了湖滨带湿地进水堰、出水堰和植物床的设计,并对工程投资作了分析。

摘要：本研究目的是优化肝靶向干扰素(IFN-CSP)在大肠杆菌中的诱导表达条件,以提高蛋白表达量。通过考查培养基pH值、诱导剂IPTG浓度、诱导温度、诱导时间和起始菌浓度等五个因素对IFN-CSP融合基因原核表达量的影响,在此基础上,从上述影响因素中各选取4个水平进行正交实验作进一步分析。结果表明,起始菌浓度和诱导温度为影响表达的主要因素,最佳组合诱导条件为OD600为0.8时开始诱导、诱导4h、诱导温度37℃、诱导剂IPTG浓度0.4mmol/L、培养基pH值为6.0,融合蛋白的表达量高达74.3%。通过表达优化后,IFN-CSP的产量为688.8mg/L,提高了1.2倍。这为进一步制定生产工艺和评价IFN-CSP的生物活性奠定基础。

摘要：NaClO是一种在食品消毒方面普遍使用的消毒剂。本文主要研究了NaClO处理对鲜切生菜中大肠菌群数的影响。运用中心复合设计(CentralCompositeDesign,CCD)的响应曲面(ResponseSurfaceMethod)试验,建立以NaClO浓度、浸泡时间、和水菜比三个因素为自变量,以大肠菌群减少百分率值为响应值的预测模型,通过统计学分析(线性相关系数r=0.9707,p值=0.0044)表明所建立的模型预测能够有效的预测NaClO处理后鲜切生菜中的大肠菌群数。