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检索条件"基金资助=国家自然科学基金委员会-广东省人民政府自然科学联合基金资助"
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基于频率灵敏度方法的超声键合换能器结构优化
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《中国机械工程》2012年 第4期23卷 439-442页
作者：隆志力 韩雷 祝孟鹏 张亮亮哈尔滨工业大学深圳研究生院深圳518055 中南大学长沙410083 东莞华中科技大学制造工程研究院东莞523808 
针对超声换能器设计上存在的双共振峰或多共振峰等常见问题,提出了一种基于频率灵敏度方法的换能器结构优化设计方法。以芯片键合超声换能器为例,采用模态频率灵敏度的方法,通过最小量地修正变幅杆的直径,实现轴向工作频率与其他非工作...
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