摘要：利用环形电镀金刚石线切割机对Nd:YAG晶体进行了切割实验研究,分析了水平和旋转切割模式对晶体切割质量的影响,得出旋转切割更适合Nd:YAG的圆晶片加工,不仅可以提高晶体的加工表面质量,还大幅度减小了切割时间。采用正交法对旋转切割进行试验设计,研究不同切割参数对Nd:YAG晶体切割质量的影响规律。通过对试验结果进行分析,得出环形金刚石线切割Nd:YAG晶体的最优工艺参数,切割后的晶片经过工艺处理后可直接进行后续的抛光加工。

摘要：KDP晶体具有较大的非线性光学系数和较高的激光损伤阈值,但具有易潮解和软脆特性,需要采用精密金刚石线切割实现其坯料的快速切割。基于电镀金刚石环线技术,设计了一种用于KDP晶体快速精密切割设备,能够实现切割张紧力可控可调;采用正交试验方法对200 mm×200 mm的晶体进行切割试验,并通过灰色理论对影响工件平面度和粗糙度的各工艺参数,进行了动态、量化分析,试验得出各工艺因素对切割表面质量影响程度大小,确定了环线切割的最佳工艺参数。