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高纯磷烷的规模化生产
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《低温与特气》2006年 第1期24卷 27-29页
作者:孙福楠 岳成君 李健 吴江红光明化工研究设计院辽宁大连116031 
对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别。吸附—低温精馏—超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向,指出了我国未来...
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