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HL-2M装置真空室预抽气系统的研制: 收藏
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引用; 《真空》2021年第1期58卷 33-37页; 作者：蔡潇曹曾张炜李瑞鋆黄勇核工业西南物理研究院四川成都610041; 通过搭建HL-2M真空室整体预抽气系统,对真空室的设计、加工和安装工艺是否达到超高真空技术要求进行了试验检测。采用三套分子泵机组和一套低温泵机组作为主抽系统,对HL-2M真空室进行了预抽,72小时后真空室真空度达到3.7×10^(-5)Pa...; 通过搭建HL-2M真空室整体预抽气系统,对真空室的设计、加工和安装工艺是否达到超高真空技术要求进行了试验检测。采用三套分子泵机组和一套低温泵机组作为主抽系统,对HL-2M真空室进行了预抽,72小时后真空室真空度达到3.7×10^(-5)Pa,超过了预期的预抽真空度。在本底真空度为3.7×10^(-5)Pa的条件下采用静态定容法测试真空室漏放气率,结果显示真空室漏气率为2.3×10^(-7)Pa·m^(3)·s^(-1),小于HL-2A真空室预抽时总漏放气率两个量级。试验证明通过合理的抽气机组配置,HL-2M装置真空室满足超高真空技术要求,为将来开展高品质等离子体实验提供了良好的条件。; 来源：详细信息评论

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