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焦斑形态精细化设计及其性能分析: 收藏
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引用; 《强激光与粒子束》2001年第5期13卷 611-614页; 作者：谭峭峰严瑛白金国藩邬敏贤徐端颐清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084; 对实现焦斑形态控制的衍射光学器件进行了精细化设计 ,模拟计算结果表明 ,可同时满足洞口附近旁瓣光强峰值不超过主瓣平均光强的 0 .0 1 % ,且主瓣顶部不均匀性小于 1 0 %。选取不同的采样间隔对比说明了精细化设计相对于传统设计 ,能...; 对实现焦斑形态控制的衍射光学器件进行了精细化设计 ,模拟计算结果表明 ,可同时满足洞口附近旁瓣光强峰值不超过主瓣平均光强的 0 .0 1 % ,且主瓣顶部不均匀性小于 1 0 %。选取不同的采样间隔对比说明了精细化设计相对于传统设计 ,能真实准确地获得焦斑形态的性能参数。最后 ,采用功率谱密度 (PSD)方法初步分析了器件几何结构与焦斑性能。; 来源：详细信息评论

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