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检索条件"基金资助=常州市工业科技攻关专项"
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氢化硅薄膜光吸收近似特性研究
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《物理学报》2010年 第11期59卷 8184-8190页
作者：郭立强 丁建宁 杨继昌 王书博 叶枫 程广贵 凌智勇 范慧娟 袁宁一 王秀琴江苏大学机械工程学院微纳米研究中心镇江212013 常州大学低维材料微纳器件与系统研究中心常州213164 常州市新能源重点实验室常州213164 
利用等离子体化学气相沉积系统在直流电压源和射频源的双重激励下,以康宁7059玻璃为衬底制备了氢化硅薄膜.通过测定氢化硅薄膜Raman光谱,对薄膜微结构进行了表征;建立氢化硅薄膜的光吸收模型,计算出薄膜的光吸收系数和光学带隙,和实验...
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