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一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器
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《传感器与微系统》2014年 第9期33卷 71-73页
作者：曹新亮 黄宝瑞延安大学物理与电子信息学院陕西延安716000 
设计一种湿度传感器。该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质,采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度,以电荷转移电路为微电容测量电路,用0.35μm多晶硅栅进行设计,形成单片集成湿度传感器。整个组成电路均与CMOS工艺兼容。仿真...
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