摘要：为了实现对射频微电子机械系统(MEMS)波段威尔金森功分器电路的精确设计和优化,使达到的设计目标满足性能要求,采用先进设计系统(ADS)软件对工作频带为32~36 GHz的RF MEMS功分器进行了建模仿真,并得到初始的电路设计参数。通过使用结合柯西变异的改进的粒子群优化(PSO)算法对RF MEMS功分器的初始电路设计参数进行优化,采用矩阵实验室(MATLAB)软件和高频结构仿真器(HFSS)软件进行联合仿真实现优化过程,最终得到满足设计目标的RF MEMS功分器的性能曲线,以及对应的功分器优化后的电路设计参数。结果表明,优化后的RF MEMS功分器回波损耗比设计目标优化了2.5 dB,插入损耗优化了0.3 dB,隔离度达到了-20 dB的设计要求。最终通过仿真验证了改进的PSO算法能够快速有效地对RF MEMS功分器的电路参数进行优化达到RF MEMS功分器设计的性能要求。

摘要：基于折射式棱锥波前传感器,结合二元光学原理,设计一种衍射式棱锥波前传感器。对衍射式棱锥的波前探测原理进行了理论推导,计算了单项Zernike像差通过两种波前传感器后四个子光瞳像的光强分布,对两种器件对不同像差的平均斜率测量精度和光能利用率做了定量计算和比较。计算结果证明衍射式棱锥器件可以对波前像差进行有效探测,构建微型人眼波前像差测量系统。

摘要：原子光刻是原子光学在微细加工技术领域的新应用.在对各种材料和真空泵性能综合考虑的基础上,设计并建立了一台用于原子光刻的超高真空蒸发设备.主要设计参数为:极限真空度和工作真空度分别为2.0×10-6 Pa 和1.0×10-5 Pa,原子源温度在300～1850℃范围内连续可调.初步运行结果表明极限真空度优于设计参数,温度连续可调.

摘要：设计了一款适应于无线局域网络(WLAN)和全球微波互联接入(WiMAX)的由微带线馈电的平面印刷三频单极子天线。天线的正面呈对称双6形状,提供低频辐射和较宽带宽的高频辐射。为了满足三频设计激励起WiMAX所需的中间频段,在天线背面的接地板上开对称槽线。利用有限元法的电磁仿真软件Ansoft HFSS 15.0进行仿真设计,优化结构数据并得到天线的最终辐射特性结果。结果表明,天线在回波损耗小于-10 dB的工作频带分别是2.39~2.72 GHz,3.36~3.86 GHz和4.22~5.83 GHz,很好地实现了在WLAN和WiMAX的工作频带。同时天线尺寸小、结构简单、共面性好、容易实现,而且天线在各个工作频段具有良好的方向性和增益。

摘要：提出一种用衍射光学器件产生超细准直激光束的方法。该方法具有设计、制造和装配简便等特点。介绍了器件设计的原理 ,给出了一种实用的设计方案和模拟结果。

摘要：设计了一种同轴馈电的双1型缝隙结构的双频微带贴片天线。采用加载缝隙的方法改变圆形贴片表面电流路径来实现天线的双频带工作,利用电磁仿真软件HFSS 14.0对天线特性进行仿真,通过分析缝隙宽度和长度对天线辐射特性的影响,获得了最佳结构参数。结果表明,当回波损耗小于–10 d B,天线工作于2.57-2.63 GHz和5.78-5.84 GHz,且相对带宽分别达到2.3%和1.0%,天线的整体辐射特性良好,且结构简单,易于实现,可应用在微波存取全球互通（Wi MAX 2.6 GHz）和无线局域网络（WLAN 5.8 GHz）。

摘要：针对硅基底微带天线的缺陷,结合MEMS技术的体微加工技术和表面微加工技术对基底材料进行处理,以达到改善天线性能的目标。设计了一种MEMS层叠式硅基底与介质型光子晶体相结合的新型微带天线。最后利用HFSS14.0对该结构进行仿真。结果表明,该结构天线的相对带宽达到23%且天线的回波损耗为–41 dB,相对于普通硅基底天线的相对带宽4%和回波损耗–14.5 dB有了明显改善。

摘要：针对传统蚁群算法容易陷入局部最优的问题,提出一种改进的蚁群算法,即遗传蚁群算法。该算法将遗传操作嵌入蚁群算法内部,增强了解的多样性,同时提高了算法的全局搜索能力,成为一种高效率的全局搜索算法。将该算法以连续域寻优的方式同电磁仿真软件相结合,应用在U槽矩形微带天线设计中,实现了双频化和宽频化;以离散域寻优的方式应用在超宽带天线设计中,得到性能良好的超宽带天线。

摘要：讨论了相移掩模提高光刻分辨力的基本原理 ,提出了一种抗蚀剂相移器制作衰减相移掩模的新方法 ,利用自行设计、建立的 Kr F准分子激光投影光刻实验曝光系统进行了实验研究 ,给出了实验结果 ,并与传统光刻方法作了比较。

摘要：重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统的设计特点 ,包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定。用其结论设计出了焦距 1 93 .3mm ,F/ # =1 .9,λ =0 .67μm的扩束准直光学系统和缩束倍率 1 0×的缩束光学系统。研究结果表明 ,该系统可以通过控制原子实现纳米图形制作 ,并且具有使用方便、寿命长、成本低的优点。