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阈值可调的微机电惯性开关: 收藏
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引用; 《中国惯性技术学报》2014年第4期12卷 543-546页; 作者：刘双杰郝永平沈阳理工大学装备工程学院沈阳110159; 针对惯性开关通用性的要求，设计了一种具有阈值可调功能的微机电惯性开关。利用CoventorWare软件中的Architect模块对该悬臂梁结构开关进行系统级仿真。仿真结果表明，开关在半正弦加速度信号作用下，加速度阈值和电压基本呈线性关系...; 针对惯性开关通用性的要求，设计了一种具有阈值可调功能的微机电惯性开关。利用CoventorWare软件中的Architect模块对该悬臂梁结构开关进行系统级仿真。仿真结果表明，开关在半正弦加速度信号作用下，加速度阈值和电压基本呈线性关系，通过调整偏置电压的方式，可测量不同阈值加速度；以500g为一档，调节加速度阈值范围为1000~4000g，开关最长响应时间为63.44μs，接触时间无穷大，表现出良好的工作性能。考虑MEMS薄膜沉积工艺在加工4μm厚的悬臂梁时存在±0.1μm加工误差，应用蒙特卡洛法分析悬臂梁厚度在3.9~4.1μm之间变化时，对开关吸合电压和闭合时间的影响，结果表明，±0.1μm的加工误差对开关吸合电压和闭合时间影响在设计允许范围内。; 来源：详细信息评论

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