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微纳系统材料、制造与器件物理研究进展
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《中国科学基金》2014年 第2期28卷 81-91页
作者:封松林 王曦 王跃林 曹俊诚 李昕欣 龚谦 李铁中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 
本文基于"微纳系统材料、制造与器件物理"国家自然科学基金创新研究群体的研究成果,系统综述了纳米材料与纳米效应、纳米传感器件物理与器件设计、基于MEMS的纳米制造技术以及高性能微纳传感器、红外及THz波段探测等方面的研...
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