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静电悬浮转子微陀螺五自由度位置检测研究
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《压电与声光》2013年 第4期35卷 524-527页
作者：肖奇军 李胜勇 刘超英 黄伟广东肇庆学院电子信息与机电工程学院广东肇庆526061 厦门蒙发利科技集团福建厦门361009 
给出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的静电悬浮转子微陀螺,为了实现对静电悬浮转子微陀螺转子的五自由度(5-DOF)悬浮控制,需要对转子进行五自由度位置检测,首先介绍了微位移检测原理,提出了一种基于频分复用技术和开关解调技术的微位...
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