摘要：针对目前微机电系统密码锁中的鉴别器结构复杂、智能电子密码锁可靠性不高的问题,设计了一种N bit的原位溅射型单次试开密码鉴别电路。N bit的密码鉴别电路,由2 N(N级、每级2个)个原位溅射型OFF-ON开关按照每级"二选一"的逻辑、N级级联的形式构成;将原位溅射型OFF-ON开关(OFF态到ON态的单向切换具有不可逆特性)与具有熔断特性的保险丝按照装定密码对应的电路关系进行连接,构成了原位溅射型单次试开固态密码锁,可将此密码锁用于对安全性要求高的要害系统、设施中。为了获得原位溅射型OFF-ON开关中金属爆炸箔与叉指电极之间的间隙,给出了三种固态密码鉴别电路的微加工工艺方案。

摘要：基于氮化铝双端固支音叉(AlN DETF)的谐振式传感器具有尺寸小、稳定性和可靠性好、时间响应快等特点。为了提高灵敏度和分辨率,需要分析AlN DETF谐振器的振梁结构参数对灵敏度和信号功率的影响。在有限元仿真软件中建立AlN谐振器的多物理场模型,进行预应力特征频率分析,仿真验证单个振梁结构参数对灵敏度的影响。在振梁厚度保持恒定的情况下,对仿真结果的数据进行后处理,得到信号功率与振梁长度、宽度的关系。结果表明,相对灵敏度、信号功率随振梁长度、宽度的变化趋势相反。因此,需要根据工艺水平和结构强度等因素,综合考虑AlN谐振器的信号功率和相对灵敏度,对两者进行权衡。仿真分析了优化后AlN DETF谐振器的性能,±10μN范围内的灵敏度为56 Hz/μN,信号功率为6.8×10-4 nW,Q值为958。

摘要：针对固态热机械密码鉴别器(Solid State Thermal Mechanical Discriminator,SSTMD)在异常环境下安全性失效的问题,提出了其安全性增强的方法。该方法通过分析SSTMD中陷阱热机械开关(Thermo-Mechanical Switch,TMS)的工作原理,从实现其固有热弱链功能的角度,对SSTMD提出两条设计准则,加强了固有热弱链的作用,从而降低SSTMD在异常高温环境下的误解锁概率。通过分析SSTMD中路径TMS的工作原理,从实现SSTMD冲击弱链功能的角度,提出了在路径TMS绝热膜片背部刻蚀环形凹槽的方案,增强了SSTMD在异常冲击/振动环境下的安全性。并对SSTMD的安全性进行了分析,分析结果表明,不增加新的元件即可集成热弱链与冲击弱链的SSTMD设计,显著增强了其在异常环境下的安全性,更加适合对异常环境下的安全性也有严苛要求的要害系统应用。