摘要：提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器。对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了分析计算;针对过载保护的问题,在结构上设计了过载保护环,实现了真空微电子压力传感器的过载自保护功能。采用硅的干、湿法结合的腐蚀、氧化锐化和真空键合等工艺技术,成功地研制出传感器实验样品。对传感器实验样品的参数进行了测试分析,其场致发射阴极锥尖阵列密度达24000个/mm2,起始发射电压为0.5～1V,反向电压≥25V,当正向电压为5V时,单尖发射电流为0.2nA,压力灵敏度为0.1μA/KPa。

摘要：目的　应用自行研制的压电基因传感器检测巨细胞病毒临床标本的PCR产物 ,探讨压电传感器检测核酸反应的可行性以及各种影响因素。方法　设计特异性DNA探针巯基法固定于传感器晶振表面并调节谐振频率在液相中稳定性达到± 1Hz ,定量加入 65份巨细胞病毒临床标本的PCR产物并观察核酸反应导致的频率变化情况 ,并与PCR产物的电泳结果作对照。结果　加入HCMVPCR阳性产物的传感器谐振频率明显下降 ,3 8例阳性产物的平均频率下降值为73 66Hz ,阴性产物的频率没有变化。与PCR电泳结果的阳性符合率为 86 8%,阴性符合率为 93 10 %。

摘要：目的　构建一种 2× 5型压电石英微阵列振荡频率检测平台。方法　利用基频 1 0MHz的 2× 5型石英晶体微阵列作为传感换能器件 ,自行设计自激式振荡频率检测仪、频率分析软件PESA2 .0 ,与计算机连接组成压电石英晶体传感器检测平台 ,并应用于气、液相检测。结果　石英晶体微阵列在气、液相起振能力强 ,并获得稳定振荡 ,气相稳定度可达± 1Hz ,液相≤ 2Hz。消除了温度、电离辐射、机械震动等因素的干扰 ;实现了频率信号检测的自动化、微机化和自能化。结论　该检测平台具有检测频率稳定、自动化和智能化程度较高、能实时检测等优点 ,是一种新型压电晶体振荡频率检测共用平台 。