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检索条件"基金资助=项目名称:机械工业中微弱信号检测技术研究"
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厚膜混合集成电容式加速度计
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《微计算机信息》2010年 第4期26卷 105-106,64页
作者：李燕 王玲 唐豫桂河南农业大学机电工程学院450002 
设计了电容式加速度计的信号检测电路,与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试,并进行了标定。为减小体积,提高电容式加速度计的检测精度,采用厚膜混合集成工艺,将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体,并进行了电路测试和性能...
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