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原子层沉积实验平台设计与教学应用: 收藏
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引用; 《高师理科学刊》2024年第2期44卷 97-100,105页; 作者：陈明华王凡刘倩张家伟刘欣哈尔滨理工大学电气与电子工程学院黑龙江哈尔滨150080; 培养学生的创新思维和动手能力是新能源材料与器件专业的主要任务之一.原子层沉积技术因沉积厚度精确可控、共形性强等独特优势被广泛应用于电极材料及器件的改性.设计了一套原子层沉积技术教学平台,涵盖了原子层沉积技术的原理、优势...; 培养学生的创新思维和动手能力是新能源材料与器件专业的主要任务之一.原子层沉积技术因沉积厚度精确可控、共形性强等独特优势被广泛应用于电极材料及器件的改性.设计了一套原子层沉积技术教学平台,涵盖了原子层沉积技术的原理、优势及其在储能材料与器件领域的应用等多个单元,加强学生对储能材料与器件的认识,全面提升学生的科研能力,培养新能源材料与器件专业型人才.; 来源：详细信息评论

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