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绿色镀膜用磁控溅射电源的设计与实现
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《电力电子技术》2010年 第4期44卷 66-68页
作者：马腾飞 魏宗寿 董绪伟国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心甘肃兰州730070 
传统的化学电镀技术在生产过程中会产生大量的三废污染,而绿色镀膜技术可以很好地解决该问题。磁控溅射镀膜是绿色镀膜技术中的重要环节。针对大型绿色真空镀膜设备,介绍了一种大功率绿色镀膜用磁控溅射电源的设计方法,描述了电源控制算...
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