摘要：悬臂梁的物理性能参数尤其是弹性系数对MEMS中微器件的性能有着重要的影响。根据材料的弹性小变形原理,分析了不同加载方式对悬臂梁弹性系数的影响。结果表明:悬臂梁在不同加载方式下,具有不同的弹性系数。其中,当其承受端部、中部集中载荷时,分别获得最小、最大弹性系数值。为满足不同应用要求,设计合理的加载方式提供了参考。

摘要：提出一种新型的单轴柔性铰链结构型式—单边混合柔性铰链,由半个直圆柔性铰链和半个导角柔性铰链构成。通过有限元方法,分析了一组不同导角半径的单边混合铰链设计实例,结果表明单边该混合柔性铰链相对于一般混和柔性铰链与单边柔性铰链具有更高的柔度。并得到其柔度应力比,可用于定量地比较各种柔性铰链的性能差异。提出的单边混合柔性铰链为面向结构紧凑、大位移、高精度的工程应用提供了有价值的参考。