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基于365nm LED的数字光刻照明系统匀光设计: 收藏
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引用; 《量子电子学报》2018年第2期35卷 225-229页; 作者：梁庆九周金运广东工业大学物理与光电工程学院广东广州510006; 在数字光刻照明系统中,利用复眼透镜对365 nm发光二极管(LED)进行了匀光设计,透镜阵列采用近六边形的排列方式,能基本覆盖圆形光。近六边形阵列相对于方形结构能减少无效透镜数量,能更有效地利用透镜发挥匀光效能.用软件分别仿真了近六...; 在数字光刻照明系统中,利用复眼透镜对365 nm发光二极管(LED)进行了匀光设计,透镜阵列采用近六边形的排列方式,能基本覆盖圆形光。近六边形阵列相对于方形结构能减少无效透镜数量,能更有效地利用透镜发挥匀光效能.用软件分别仿真了近六边形、9×9方形透镜的照明系统,并对比了其照度图,结果表明使用近六边形阵列的照明系统照度更为均匀.用近六边形阵列设计的照明系统与数字微反射镜(DMD)、光刻镜头相结合,进行了2μm精度的数字光刻实验,其像面照度均匀,线条清晰.; 来源：详细信息评论

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