摘要：概述了微机电系统CAD的研究进展,重点介绍了国外在该领域的研究工作。针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的技术特点,并据此提出了微机电系统的设计原则,还介绍了微机电系统CAD的系统模型、常用的软件设计方法以及目前存在的几个问题。

摘要：微机电系统(MEMS)可动部件间的摩擦特性是影响其性能和可靠性的重要因素之一。为了研究微机械构件间的摩擦行为,设计了一种面-面接触的应变式微摩擦测试仪,以模拟MEMS器件的真实工况。研究了不同微米级条纹形貌硅试样的摩擦特性,结果表明,微尺度下速度对摩擦因数有很大影响;形貌参数存在优选值以有效减少速度的影响和摩擦因数等。

摘要：在微机电系统中,微执行器是核心部件。为了优化设计微执行器,通过对比近年来各种微执行器的研究和发展,系统地总结了线性位移微执行器所采用的驱动原理、驱动方式和应用以及存在的优缺点等。针对热执行器,提出了个人的一些见解。

摘要：微机械构件表面的微摩擦不同于宏观摩擦,也不同于原子力/摩擦力显微镜探针与基片之间的微摩擦,因此,宏观或微观摩擦实验仪器对于微摩擦的研究有很大的局限.本文从实际出发,设计并研制了考虑微机械工况的销盘式微摩擦测试仪及其数据处理系统,采用微应变片获取摩擦力及载荷导致的变形信号,通过A/D卡采集数据,在数据处理系统中进行数据处理,从而获得微摩擦力和微载荷的数值,为微摩擦特性测试和分析提供一种手段.