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高灵敏度宽频带一维MEMS矢量水听器: 收藏
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引用; 《微纳电子技术》2017年第10期54卷 677-683页; 作者：丁俊文张国军杨晟辉尚珍珍张文栋中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051; 针对目前纤毛式MEMS矢量水听器灵敏度和带宽的相互制约,无法实现在高灵敏度的情况下还能有较大的可测带宽。基于此,设计了一种单梁结构的一维MEMS矢量水听器,经理论分析和ANSYS仿真分析,确定了微结构的尺寸,仿真结果显示有挖空式结构较...; 针对目前纤毛式MEMS矢量水听器灵敏度和带宽的相互制约,无法实现在高灵敏度的情况下还能有较大的可测带宽。基于此,设计了一种单梁结构的一维MEMS矢量水听器,经理论分析和ANSYS仿真分析,确定了微结构的尺寸,仿真结果显示有挖空式结构较无挖空式结构在X轴最大应力上提高了5.12%,探测带宽增大了53.26%。并对挖空式微结构进行了工艺设计,简化了工艺流程,提高了成品率。最后,用矢量水听器校准装置进行测量,实验结果表明,该一维MEMS矢量水听器具有20~2 000 Hz的可测带宽,满足灵敏度每频程6 dB的增长趋势,具有良好的"8"字型指向性,凹点深度为-32.4 dB。; 来源：详细信息评论

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