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波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用
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激光与光电子学进展》2013年 第5期50卷 153-159页
作者:刘洋 余锦 张雪 貊泽强 聂树真 黄玉涛 樊仲维 陈波中国科学院光电研究院北京100094 中国科学院大学北京100049 北京国科世纪激光技术有限公司北京100192 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 
为了满足不同材料的精细加工需求,采用波长皮秒激光器作为光源,配合自行设计的光学系统和控制系统,研制了波长同轴输出皮秒激光精细加工系统。该系统可使用任意一种、两种或激光波长进行同工作距加工,通过轴向色差补偿设计,实...
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