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三维阶梯结构微混合器设计、制作及性能分析
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《哈尔滨工业大学学报》2016年 第4期48卷 54-59页
作者:张贺 刘晓为 唐佳禄 韩小为 田丽微系统与微结构制造教育部重点实验室(哈尔滨工业大学)哈尔滨150001 黑龙江工程学院电气与信息工程学院哈尔滨150001 
为改善微纳尺度下流体的混合效果,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基底材料上,设计制造了一款新型三维阶梯结构微混合器.混合器由一个T-型进样沟道和6个三维阶梯混合单元组成,采用超精密雕刻机在PMMA基片制作微米级结构,利用有机溶剂混溶浸...
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