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超光滑光学元件表面疵病检测与控制
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《光学与光电技术》2018年 第4期16卷 52-57页
作者：王玄洋 陈光华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室湖北武汉430223 
零件表面形貌是工件在不同加工过程中形成的结果。通过对表面疵病宏观与微观形貌研究,以实现对加工过程中产生疵病源头准确定位与控制。依据超光滑表面疵病特点,提出了有针对性的疵病两步测量法,设计了激光辅助显微镜检测设备检测疵病...
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