摘要：设计了一种工作在400 GHz的紧凑型Marchand巴伦,本设计采用互补耦合线(Complementary Conducting-Strip Coupled-Line,CCS CL),与传统的薄膜耦合线(Thin-Film Coupled-Line,TF CL)相比,CCS CL具有更高的耦合系数和几乎相同的奇偶模传输特性,因此基于CCS CL设计的Marchand巴伦具有更小的电路面积和更加平衡的差分输出。为了验证该设计,采用0.13μm 1P8M CMOS工艺制作了一种背靠背式Marchand巴伦测试电路,测得Marchand巴伦的插入损耗为0.75 dB,10 dB回波损耗带宽为110 GHz(从330 GHz到440 GHz)。设计的400 GHz Marchand balun的电路面积仅为0.0018 mm2(不包括焊盘面积),远小于其他类型的太赫兹巴伦结构。