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MEMS结构的实体建模和分析: 收藏
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引用; 《CAD/CAM与制造业信息化》2003年第6期 65-68页; 在集成电路制造业中,随着技术的发展,实体建模工具将不仅仅局限于帮助MEMS(Microelectromechanical System)设计师简化设计流程,充分利用有限元工具软件进行分析将是发展的趋势。因此,选择合适的实体建模工具对于MEMS设计能否取得成功...; 在集成电路制造业中,随着技术的发展,实体建模工具将不仅仅局限于帮助MEMS(Microelectromechanical System)设计师简化设计流程,充分利用有限元工具软件进行分析将是发展的趋势。因此,选择合适的实体建模工具对于MEMS设计能否取得成功是至关重要的。SolidWorks除了可以进行MEMS结构设计(在过程中可以进行分析并生成掩膜)外,还可以设计所有相关的产品封装和装配设备,下面就对SolidWorks 3D建模软件在MEMS设计方面的优势做一些介绍。; 来源：详细信息评论

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