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亚波长多台阶结构大角度激光分束器设计
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《中国激光》2016年 第2期43卷 167-173页
作者:陈琪 李国俊 方亮 周崇喜中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209 中国科学院大学北京100049 
分束角度是衍射型激光分束器件重要性能指标之一。目前对大角度衍射分束元件的研究局限于Dammann光栅,Dammann光栅依靠周期内相位突变点对入射光波进行调制,其分束均匀性对突变点精度非常敏感,现有加工技术无法满足设计精度的要求。针...
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亚波长衍射微透镜的设计
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《光子学报》2004年 第1期33卷 81-84页
作者:刘玉玲 卢振武 任智斌 李凤有 曹召良 孙强中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130022 
设计了连续浮雕衍射微透镜和与其等效的二元亚波长衍射微透镜 ,采用旋转体时域有限差分法对通过计算机辅助设计出的元件进行了严格的矢量分析 ,给出了各元件在焦平面的场强分布 分析结果表明 ,本文设计的二元亚波长微透镜对连续浮雕微...
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亚波长薄膜堆栈超构材料:理论及应用
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《红外与毫米波学报》2022年 第1期41卷 151-168页
作者:文政绩 李晓温 赵文超 孙艳 郝加明 戴宁 褚君浩中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室上海200083 湖州学院电子与信息系浙江湖州313000 复旦大学光电研究院上海200433 国科大杭州高等研究院物理与光电工程学院浙江杭州310024 
亚波长薄膜堆栈超构材料,作为超构材料领域一个特殊的组成部分,因其具有亚波长厚度、无需复杂光刻加工以及可低成本大面积制备等诸多优点,吸引了人们越来越多的关注。本文聚焦回顾近些年亚波长薄膜堆栈超构材料相关研究进展,首先简要回...
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亚波长纳米结构宽波段抗反射特性
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《红外与激光工程》2011年 第2期40卷 267-270页
作者:李海华 黄康 王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 
研究了玻璃(折射率n=1.52)表面周期性台阶结构的宽波段抗反射特性。利用等效媒质理论,对单台阶和二台阶结构进行了参数设计,并用严格耦合波理论对设计的台阶结构进行了入射光波长、入射角的反射效率、反射级次特性分析计算。研究结果表...
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亚波长尺度下混合等离子泄漏模式激光
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《中国光学》2021年 第2期14卷 397-408页
作者:严闪闪 王双鹏 宿世臣华南师范大学半导体科学技术研究院广东510631 澳门大学应用物理与材料工程研究所澳门999078 华南师大(清远)科技创新研究院有限公司清远511517 
由于光存在衍射极限,因此传统方法不能实现亚波长尺度下的激光激射。为了打破这一衍射极限,本文设计了金属-介电层-半导体堆叠结构来实现深亚波长尺度下的激光激射,并讨论了相关结构对模式传播的影响。结构设计上,采用低介电常数金属银...
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亚波长金属聚焦透镜结构参数的优化与分析
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《物理学报》2010年 第2期59卷 958-963页
作者:李敏 张志友 石莎 杜惊雷四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所成都610064 
提出同时优化亚波长金属透镜结构凹槽宽度和深度,以改善亚波长金属透镜的聚焦特性.基于有限时域差分法,详细研究了凹槽宽度和深度变化对其焦斑的峰值半宽、焦斑强度、归一化聚焦效率以及焦距的影响.通过探讨金属透镜的聚焦规律及其物理...
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红外30μm亚波长抗反射光栅的制作
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《红外与毫米波学报》2004年 第1期23卷 6-10页
作者:曹召良 卢振武 张平 王淑荣 赵晶丽 李凤有中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130022 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光电传感技术研究室吉林长春130022 
利用严格耦合波理论设计出亚波长抗反射光栅 ,并通过等离子体辅助刻蚀制作出了立方状抗反抗光栅 .测量结果发现该光栅具有良好的增透特性 ,并且测得光栅参数和理论设计参数基本一致 ,表明等离子体辅助刻蚀是制作深光栅的有效方法 .对实...
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ZnSe衬底表面亚波长增透结构的设计及误差分析
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《中国激光》2014年 第1期41卷 251-256页
作者:尚鹏 熊胜明中国科学院光电技术研究所四川成都610209 中国科学院大学北京100049 
以矢量严格耦合波(RCWA)理论为基础,通过遗传算法优化设计了圆柱形ZnSe亚波长微增透结构,获得了具有较好增透效果的结构参数;重点讨论分析了实际加工过程中圆柱形方向偏差及整体面形轮廓偏差对抗反射特性的影响;还对多台阶ZeSe增...
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基于亚波长金属结构的大数值孔径透镜
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《红外与激光工程》2010年 第1期39卷 116-119页
作者:尹韶云 高洪涛 杜春雷中国科学院光电技术研究所四川成都610209 
为了实现轻量化的大数值孔径红外透镜,基于模式耦合理论,建立了金属薄膜上方形孔对入射光场相位调制与方孔边长尺寸、深度的关系,在此基础上,提出了一种可实现大数值孔径的亚波长金属结构薄膜透镜。采用数值模拟方法对此透镜的聚焦特性...
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亚波长金属柱阵列光透射增强的带通特性研究
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《激光技术》2017年 第2期41卷 196-199页
作者:陈影 姜雨虹 孔小双 闫珂柱曲阜师范大学物理工程学院曲阜273165 
为了研究玻璃衬底上的亚波长紧凑金属柱阵列薄膜的光透射增强特性,采用3维时域有限差分法进行了模拟,得知该膜的增强光透射谱呈现单主峰带结构,透射谱的峰值位置和带宽也因金属柱阵列周期和金属柱高度的不同而不同,并对金和银两种金属...
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