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静电驱动蝴蝶结状双端固支梁的节点分析法
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《Journal of Semiconductors》2008年 第12期29卷 2432-2436页
作者：李敏 黄庆安 李伟华东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 
为了在节点化设计方法中对静电驱动的蝴蝶结状双端固支梁进行分析,采用伽辽金残余法建立了静电驱动梯形梁单元的节点化模型,在HSpice中构建了相应的等效电路模型.与有限元仿真结果及文献中给出的实验结果进行了比较,结果表明模型具有较...
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