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检索条件"主题词=低效取样光栅"
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电子束直写制作低效取样光栅
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《中国激光》2003年 第2期30卷 134-136页
作者：高福华 曾阳素 谢世伟 郭永康 崔铮四川大学物理系四川成都610064 英国卢瑟福实验室 
低效取样光栅是激光取样技术的一种重要元件 ,它可以看成离轴的二相位的菲涅耳波带板。基于菲涅耳波带板的形成原理 ,对取样光栅的变周期环带结构进行了理论分析 ,推导出取样光栅的透过率函数。并在此基础上 ,采用电子束直写加工光栅掩...
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