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一种低流速气体流量传感器的研制
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《浙江大学学报（工学版）》2005年 第2期39卷 180-184页
作者：赵梦恋 吴晓波 严晓浪浙江大学超大规模集成电路设计研究所浙江杭州310027 
提出一种基于温差测量原理测量低流速气体流量的方法并进行了实验验证.传感器由一对集成温度传感器芯片与片状铂电阻热源构成,专门设计的片上恒流供电电路保证了热源加热功率的稳定.对该流量传感器样品进行测试,结果表明它能够提供与方...
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