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检索条件"主题词=低阻硅衬底"
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低损耗微波MEMS共平面波导在低阻硅上的实现
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《Journal of Semiconductors》2003年 第9期24卷 994-998页
作者：石艳玲 忻佩胜 邵丽 游淑珍 朱自强 赖宗声华东师范大学电子科学技术系上海200062 
在低阻硅衬底上采用常规CMOS工艺和后处理微机械加工技术实现了微波MEMS共平面波导 ,并与高阻硅基平面结构共平面波导特性进行了比较 .采用混合相似剖分有限元方法设计了一组不同特性阻抗值的传输线 ,并通过关键的混合腐蚀技术制备了 5...
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