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检索条件"主题词=体模式谐振器"
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超高频体模式MEMS谐振器及其传感系统平台技术研究
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《传感技术学报》2008年 第3期21卷 509-512页
作者：章新春 张云峰 赵建业 于晓梅北京大学信息科学技术学院北京100871 
针对体模式MEMS谐振器激励和响应信号的特点,设计集成了激励信号产生和微弱信号检测的传感测量系统。系统通过对谐振器的扫频激励和检测响应信号,可以准确测量谐振器的谐振频率和Q值特性。为了有效测量谐振器产生的高频微弱位移电流信号...
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