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检索条件"主题词=体硅湿法腐蚀"
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微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验
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《电加工与模具》2017年 第5期 26-30,66页
作者：刘国栋 李勇 孔全存 佟浩 钟昊清华大学机械工程系精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京100084 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院北京100192 
提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为...
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