摘要：用于惯性约束聚变的高功率固体激光装置需使用上万件大口径光学元件,激光装置极端的设计性能对光学元件提出了全空间频段(空间频率范围为μm^(-1)级至m^(-1)级)精度指标和高抗激光损伤的制造要求,形成确定性、高性能的强激光光学元件制造能力是制造激光装置的基础。总结了近年来大口径高功率激光光学元件超精密制造技术及装备方面的研究进展,重点介绍了超精密磨削成形技术、保形快速抛光技术、确定性抛光技术、晶体超精密切削技术及低缺陷制造技术,并分析了高功率激光光学元件制造的未来发展趋势。

摘要：在以机器人控制小工具抛光及离子束抛光为核心的复合加工及检测技术中,首先使用机器人柔性气囊抛光工具及金属磨盘对非球面镜面进行快速研磨及抛亮,随后采用沥青磨盘对中频误差进行匀滑加工,最终使用离子束抛光技术将非球面面形修形到最终要求。随后采用三坐标测量机来检测研磨及粗抛光阶段的面形误差,精抛光阶段面形误差的检测则采用零位干涉检测技术进行。通过使用上述方法对一口径为408mm的离轴非球面镜的加工与检测,最终使其面形精度达到0.015λ(λ=632.8nm),满足了设计要求。