摘要：提出了一种基于菲涅耳衍射微透镜的新型光学加速度传感器,它能够解决导航系统中惯性传感器普遍存在的抗电磁干扰和电磁冲击能力差等缺陷。其传感原理是把一个反光膜平行地置于衍射微透镜的后方,加速度的变化会改变反光膜的位置,根据微透镜前方会聚点处光强的变化,感知加速度的大小。介绍了传感器及其动力学系统的工作原理,并对衍射微透镜和动力学系统的微弹性机械结构进行了设计和加工,最后对传感器的性能和误差进行了分析。原理验证性实验的结果表明这种新型光学加速度传感器的原理正确,并且结构简单,灵敏度高。

摘要：针对一种新型光学加速度传感器设计了一种简单实用的微弹性机械结构，它是通过MEMS工艺在硅片上加工出来。通过能量法和有限元模拟法（ANSYS8．0）对弹性臂的弹性系数和动力学振动系统的一阶固有频率进行了分析与模拟，根据传感器的性能要求选取了微弹性机械结构的参数，并对传感器的性能进行了分析模拟。结果表明：设计是合理可行的，根据参数确定传感器的量程约为±395m／s^2，测量频率约为1～4．5kHz。