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基于后焦面成像的聚合物平面波导光学参数测量仪
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《量子电子学报》2017年 第3期34卷 374-378页
作者:施矾 朱良富 邱冬 张斗国中国科学技术大学光学与光学工程系安徽省光电子科学与技术重点实验室安徽合肥230026 
基于后焦面成像确定波导传播特性的基本原理,结合平面波导中的菲涅尔反射理论,设计了一种聚合物平面波导光学参数测量仪。通过MATLAB拟合处理数据实现了对样品局部折射率和厚度高精度、高空间分辨率的实时测量,平面波导厚度测量精度可...
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