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激光衍射对刀装置的开发与应用
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《制造业自动化》2017年 第9期39卷 139-141页
作者:石广丰 张玉石 史国权长春理工大学机电工程学院长春103322 
在超精密加工领域,在工件原始表面进行加工(如机械刻划)是非常重要的加工方式,而对刀间距的检测精度直接制约着加工精度。根据激光衍射测量原理设计了一种激光衍射对刀装置的结构方案,并通过软硬件开发,应用到了衍射光栅的机械刻划工艺...
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