摘要：紫外LED光刻光源具有价格低廉、体积小、能耗低、寿命长、环保等诸多优点,因而近年来受到国内外学者的广泛关注。本文简要分析光刻光源系统的结构,归纳紫外LED光刻光源的特点,详细阐述现阶段国内外对紫外LED光刻光源系统的最新研究进展及成果,通过对系统输出光特性的综合分析与讨论全面综述了紫外LED光刻光源系统的光学设计方法,为紫外LED应用于高端微加工设备的进一步研究提供有益参考。

摘要：本文根据半导体激光器的发光特性和棱镜的光学折射性质,提出了半导体激光系统中整形棱镜的设计和进行光束质量优化的方法.

摘要：设计并实现了一种高功率、高光场均匀性的蓝紫光半导体激光器。采用光纤耦合技术,将28只输出功率为350mW的半导体激光器的输出激光,通过非球面透镜分别耦合进纤芯直径为400μm、数值孔径为0.22的光纤中,光纤经捆绑合束进行功率扩展后输出功率达8.1W。利用Zemax软件设计了复眼透镜组对激光光场进行整形匀化,仿真结果表明,光场均匀度从匀化前的48%提高到匀化后的86%,实验测量光场均匀度达到84.4%。为高精度3D打印技术提供了一种理想光源。

摘要：为解决用于高斯分布激光束整形的二元光学元件设计问题 ,在深入研究现有的各种迭代算法 ,如GS算法、模拟退火法、Alopex法等的基础上 ,提出了并行模拟退火算法和DPDV算法 (DifferentParametertoDifferentVariables)。特别是DPDV算法综合了各种算法的优点 ,而避开了其缺点。

摘要：针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件 ( DOE) ,对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑 ,利用同一个 DOE加以整形的方法。模拟表明 :整形后焦斑的面形和边缘显著改善 ,衍射效率高于实用指标 ,提供一种改善系统分辨能力的有效途径。

摘要：文章设计了一种新型激光发射装置，通过Bar条拼接、光束整形和高速雪崩激励等方式，实现了多光束的空域功率合成和视场拼接，最终产生峰值功率约850W，脉冲宽度小于8．0ns，光束发散角度63°×0．2°的探测激光光束。该装置具有小体积、大视场、高重频、大功率和窄脉宽的应用特点。

摘要：江苏中科四象激光技有限公司的高功率全固态激光器是半导体激光二极管泵浦的固体激光器（DPSSL或DPL），采用主振荡功率放大（MOPA）方案，通过设计大模体积热不灵敏谐振腔控制振荡级光束质量，采用90°旋光器等技术补偿多头串接时的热退偏；通过光束整形实现放大级与光束的空间匹配，提高放大提取效率，实现功率扩展。