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一种新型高精度线性压电激励器的研制: 收藏
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引用; 《压电与声光》2005年第3期27卷 263-266页; 作者：段智勇王庆康上海交通大学微米纳米科学技术研究院上海200030; 报道了一种新型压电线性激励器,设计出它的结构,完成了器件制作。设计测试系统对其性能进行测试。器件的线性步进位移特性明显,具有步进模式和连续线性位移模式。行程可达几个厘米、位移分辨率为0.1μm、运行速度可达0.6mm/s。激励器结...; 报道了一种新型压电线性激励器,设计出它的结构,完成了器件制作。设计测试系统对其性能进行测试。器件的线性步进位移特性明显,具有步进模式和连续线性位移模式。行程可达几个厘米、位移分辨率为0.1μm、运行速度可达0.6mm/s。激励器结构简单,控制方便,适于研制闭环控制高精度定位系统。; 来源：详细信息评论

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